這臺高分辨率顯微成像橢偏儀有別于傳統橢偏儀,這是新一代的顯微成像橢偏儀技術,它有機地結合了傳統光譜橢偏儀和光學顯微鏡技術,使得我們能夠在小至1µm的微結構上以橢偏儀的靈敏度表征薄膜厚度和折射率。顯微鏡部分能夠同時測量光學系統全視場范圍內的所有結構。
 更新時間:2025-10-27
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