離子濺射儀是制備高純度、高結合力金屬/化合物薄膜的核心設備，其通過離子轟擊靶材實現原子級沉積，廣泛應用于半導體芯片、光學器件及納米材料領域。理解其工作原理與設計特點，是優化薄膜性能的關鍵。
一、工作原理：
離子濺射的核心是“動量轉移”。設備通過氣體放電(通常為氬氣，純度>99.999%)產生等離子體(含大量Ar?離子)，在高壓電場(通常-300V至-1000V)作用下，Ar?離子加速轟擊靶材(如金屬鈦、氧化物陶瓷)表面。離子與靶材原子發生彈性碰撞，將動能傳遞給靶材原子(單個Ar?離子可傳遞能量約10-100eV)，當靶材原子獲得的能量超過其與周圍原子的結合能(通常5-20eV)時，便會從靶材表面濺射出來。濺射出的原子經等離子體區域加速后，以一定能量(通常1-10eV)沉積到基底(如硅片、玻璃)表面，形成致密均勻的薄膜。
對于磁性靶材(如鐵、鈷)，需采用磁控濺射技術——在靶材背面布置永磁體(形成閉合磁場)，約束等離子體靠近靶材表面(等離子體密度提高10-100倍)，從而降低濺射電壓(從1000V降至300-500V)，減少基底熱損傷并提升沉積速率(可達每小時幾微米)。
二、獨特設計特點：
1.靶材與磁場耦合設計：磁控濺射儀的磁體布局(如環形磁鐵或互補磁極)直接影響等離子體分布。例如，平衡磁控濺射的磁場強度在靶材表面約0.01-0.1T，使等離子體集中在靶材中心區域，確保濺射均勻性(偏差<±5%)；非平衡磁控濺射通過增強靶材邊緣磁場，將等離子體引向基底，提升薄膜與基底的結合力(附著力>10N/cm)。
2.多靶共濺射系統：為制備化合物薄膜(如TiN、ITO)，設備配備多個靶材(如鈦靶+氮氣、銦靶+錫靶+氧氣)，通過獨立控制各靶材的濺射功率(精度±1W)，精確調節薄膜成分(如ITO中In?O?與SnO?的比例為9:1，電阻率可降至10??Ω·cm)。
3.真空與氣體控制模塊：采用分子泵(極限真空度<10??Pa)與質量流量控制器(MFC，流量精度±0.5sccm)，精確調節工作氣體(如氬氣、氧氣)的分壓(通常0.1-10Pa)與比例(如氧氬比1:9至3:7)，控制薄膜的化學計量比與微觀結構(如氧化鋁薄膜的晶型從γ相轉變為α相)。
4.基底加熱與偏壓系統：基底加熱臺(溫度范圍室溫-800℃)可調控薄膜結晶度(如非晶硅薄膜經500℃退火后轉變為多晶，載流子遷移率提升10倍)；基底偏壓(-50V至-500V)通過電場加速離子轟擊，增強薄膜致密性(孔隙率<1%)并改善臺階覆蓋能力(用于復雜微結構表面沉積)。
離子濺射儀通過“離子轟擊-原子釋放-定向沉積”的科學機制與精準的工程設計，實現了從實驗室小樣品到工業級大尺寸基底的薄膜制備，是現代材料表面工程關鍵的工具。
更新時間：2025-10-18
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